一種彈壓嵌合式FFU系統安裝結構

一種彈壓嵌合式FFU系統安裝結構
技術領域


本實用新型涉及FFU安裝技術領域，更具體的說是涉及一種彈壓嵌合式FFU 系統安裝結構。


背景技術


半導體設備包括外殼，在外殼內通常需要進行濕法化學反應，濕法化學反應產生的氣體導致外殼內部的工藝區域的氣體環境變得不純凈，為了讓外殼內部維持純凈穩定的氣體環境，通常需要在外殼上安裝FFU系統，利用FFU系統使外殼內建立良好的循環氣場流，FFU系統包括FFU殼體，FFU殼體內設置有電線，外殼上設置有走線殼體，走線殼體用以收納FFU殼體內的電線。


FFU系統使用時需要將FFU殼體與走線殼體連接，現有技術中FFU殼體與走線殼體之間通過螺栓進行安裝，安裝方式較為繁瑣且安裝不穩定。


實用新型內容


針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種彈壓嵌合式FFU 系統安裝結構，用于穩定安裝FFU殼體和走線殼體。


為實現上述目的，本實用新型提供了如下技術方案：一種彈壓嵌合式FFU系統安裝結構，包括走線殼體，所述走線殼體位于外殼頂面，FFU殼體與所述走線殼體之間設置有嵌合組件，所述嵌合組件包括連接件，所述連接件與所述走線殼體之間設置有嵌合部，所述連接件通過所述嵌合部與所述走線殼體固定連接。


作為本實用新型的進一步改進，所述連接件為圓柱形管。


作為本實用新型的進一步改進，所述走線殼體靠近FFU殼體的側面開設有連接孔，所述嵌合部包括彈壓鍵，所述彈壓鍵與所述連接件靠近所述走線殼體的一端固定連接，所述彈壓鍵與所述連接孔相適配。


作為本實用新型的進一步改進，外殼頂面上設置有定位組件，所述定位組件用以定位FFU殼體。


作為本實用新型的進一步改進，所述定位組件包括兩組定位部，兩組所述定位部正對設置，所述定位部包括第一定位板和兩個第二定位板，所述第一定位板和所述第二定位板均與外殼頂面固定連接，兩個所述第二定位板通過所述第一定位板一體形成，同一組定位部內的兩個所述第二定位板相互平行，且所述第一定位板與兩個所述第二定位板均相互垂直，通過兩組定位部對FFU殼體進行定位。


作為本實用新型的進一步改進，所述第一定位板的寬度和高度分別與所述第二定位板的寬度和高度相同，所述第二定位板的長度小于所述第一定位板長度的八分之一，且大于所述第一定位板長度的十分之一。


作為本實用新型的進一步改進，所述第一定位板的高度大于FFU殼體高度的五分之一，且小于FFU殼體高度的四分之一，使得FFU殼體可以被定位。


本實用新型的有益效果：本實用新型通過在FFU殼體和走線殼體之間設置嵌合部，通過在連接件和走線殼體之間設置嵌合部，通過嵌合部將連接件和走線殼體固定連接，使得FFU殼體與走線殼體之間可以穩定安裝，且安裝方式較便捷，通過設置兩組定位部以定位FFU殼體。


附圖說明


圖1是本實用新型的主視結構示意圖；


圖2是本實用新型圖1中A處的放大結構示意圖；


圖3是本實用新型的俯視結構示意圖。


附圖標記：1、走線殼體；2、嵌合組件；21、連接件；3、嵌合部；31、彈壓鍵；4、連接孔；5、定位組件；51、定位部；511、第一定位板；512、第二定位板。


具體實施方式


下面結合附圖和實施例，對本實用新型進一步詳細說明。其中相同的零部件用相同的附圖標記表示。需要說明的是，下面描述中使用的詞語“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語“底面”和“頂面”、“內”和“外”分別指的是朝向或遠離特定部件幾何中心的方向。


參照圖1至圖3所示，本實施例的一種彈壓嵌合式FFU系統安裝結構，包括走線殼體1，走線殼體1位于外殼頂面，通過設置走線殼體1使得FFU裝置的電路走線可隱蔽安裝，走線殼體1設置在外殼上方，因此不會影響外殼內氣流場的建立。 FFU殼體與走線殼體1之間設置有嵌合組件2，嵌合組件2包括連接件21，連接件 21為圓柱形管，FFU殼體的電線可以通過連接件21和連接孔4進入走線槽內，使得電線可以被整潔收納，連接件21與走線殼體1之間設置有嵌合部3，連接件21 通過嵌合部3與走線殼體1固定連接。操作人員將彈壓鍵31彈壓嵌入連接孔4內，使得FFU殼體與走線殼體1固定連接，實現無螺栓安裝，且可再次彈壓進行拆卸。走線殼體1靠近FFU殼體的側面開設有連接孔4，嵌合部3包括彈壓鍵31，彈壓鍵 31與連接件21靠近走線殼體1的一端固定連接，彈壓鍵31用以與連接孔4彈壓嵌合。


參照圖3所示，外殼頂面上設置有定位組件5，定位組件5用以定位FFU殼體。在半導體濕法設備中，幾乎每個模組都需要進行FFU系統的安裝，通過設置兩組定位部51使得FFU裝置能有效安裝，且具有良好的氣密性，定位組件5包括兩組定位部51，兩組定位部51正對設置，定位部51包括第一定位板511和兩個第二定位板512，通過設置兩組定位部51，使得外殼上不需要額外設置其余安裝座，通過兩組定位部51之間的空間就可以快速便捷的將FFU殼體安裝在外殼上，同時利用FFU殼體的重量與吹送風壓維持外殼內部的氣密性。第一定位板511和第二定位板512均與外殼頂面固定連接，兩個第二定位板512通過第一定位板511一體形成，同一組定位部51內的兩個第二定位板512相互平行，且第一定位板511與兩個第二定位板512均相互垂直。兩組定位部51圍成一個矩形以放置FFU殼體，第一定位板511的寬度和高度分別與第二定位板512的寬度和高度相同，第一定位板511和第二定位板512具有一定的高度，使得FFU殼體不會脫離出兩組定位部51 之間的空間，第二定位板512的長度小于第一定位板511長度的八分之一，且大于第一定位板511長度的十分之一，兩組定位部51內相鄰的兩個第二定位板512 之間有一定的空隙，使得FFU殼體便于放入兩組定位部51之間的空間。第一定位板511的高度大于FFU殼體高度的五分之一，且小于FFU殼體高度的四分之一。


工作原理：操作人員將彈壓鍵31彈壓嵌入連接孔4內，使得FFU殼體與走線殼體1固定連接，實現無螺栓安裝，且可再次彈壓進行拆卸，FFU殼體與走線殼體1穩定安裝，且安裝方式便捷，通過設置兩組定位部51，使得外殼上不需要額外設置其余安裝座，通過兩組定位部51之間的空間就可以快速便捷的將FFU殼體安裝在外殼上，同時利用FFU殼體的重量與吹送風壓維持外殼內部的氣密性。


以上僅是本實用新型的優選實施方式，本實用新型的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本實用新型思路下的技術方案均屬于本實用新型的保護范圍。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理前提下的若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。